Összesen 1 találat.
#/oldal:
Részletezés:
Rendezés:

1.

001-es BibID:BIBFORM008886
Első szerző:Szörényi T.
Cím:Laser direct writing of tin oxide patterns / T. Szörényi, Z. Geretovszky, J. Tóth, A. Simon, Cs. Cserháti
Dátum:1998
ISSN:0042-207X
Megjegyzések:Tin oxide pattern generation by laser deposition from SnCl4. 5H(2)O in isopropanol is reported. Smooth, even stripes of thicknesses ranging from 20 to 120 nm with sharp, well defined edges and cross-section are deposited by scanning Ar+ laser beam (lambda = 514.5 nm) focused onto the substrate-solution interface with a constant speed of 1 mm s(-1). The linewidth linearly increases from 26 to 42 mu m with increasing the power from 40 to 120 mW. The reproducibility of pattern generation is extremely good as revealed by SEM-EDXI and mu RBS. The minimum DC resistivity of 1.7 x 10(-2) Omega cm, measured without any process optimization, favourably compares with those reported for films prepared by other techniques. The chemical composition of the film material is SnOx with 1.1 < x < 1.5 as determined by an XPS-XAES study.
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:Vacuum. - 50 : 3-4 (1998), p. 327-329. -
További szerzők:Geretovszky Z. Tóth József (fizikus) Simon Alíz (1975-) (fizikus) Cserháti Csaba (1963-) (fizikus)
Borító:
Rekordok letöltése1 
Corvina könyvtári katalógus v8.2.27 © 2023 Monguz kft. Minden jog fenntartva.