Találati lista | Tudóstér

001-es BibID:	BIBFORM086130
035-os BibID:	(Scopus)85069714766 (WoS)000480558400052
Első szerző:	Molnár Sándor (fizikus)
Cím:	Direct surface patterning of amorphous chalcogenide layers with high- energy H+ and He+ ion beams / S. Molnar, R. Bohdan, Gy. Nagy, I. Rajta, L. Illes, A. Csik, S. Kokenyesi
Dátum:	2019
ISSN:	0957-4522
Megjegyzések:	As (Ge)-S (Se) based amorphous bulk chalcogenide glasses and layers have been used for surface geometrical relief recording by 2 MeV energy H+ and He+ ion-beams. The formation of giant (height modulation from nanometers up to micrometers) geometrical reliefs (dots, lines), have been investigated. Efficiency of surface patterning was compared for selected compositions, type of ion beam and conductivity of substrates. Comparisons with optical and e-beam recording were made with aim to establish the details of relief formation mechanisms. The results show applicability of high-energy ion beams for in situ fabrication of planar optical elements on the surface of chalcogenide glasses (bulk samples or amorphous films).
Tárgyszavak:	Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban folyóiratcikk
Megjelenés:	Journal of Materials Science-Materials in Electronics. - 30 : 16 (2019), p. 15331-15338. -
További szerzők:	Bohdan, Roland Nagy Gyula (1986-) (környezetkutató fizikus) Rajta István (1970-) (fizikus) Illés Levente Csik Attila (1975-) (fizikus) Kökényesi Sándor (1946-) (fizikus)
Pályázati támogatás:	GINOP-2.3.2-15-2016-00041 GINOP
Internet cím:	Szerző által megadott URL DOI Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Saját polcon: