Összesen 1 találat.
#/oldal:
Részletezés:
Rendezés:

1.

001-es BibID:BIBFORM097476
035-os BibID:(cikkazonosító)138960 (Scopus)85117196563 (WoS)000710835900005
Első szerző:Kovács Réka Lilla (fizikus)
Cím:Effect of nanoscopic defects on barrier performance of thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition on flexible polymers / Kovács Réka Lilla, Gyöngyösi Szilvia, Langer Gábor, Baradács Eszter, Daróczi Lajos, Barkóczy Péter, Erdélyi Zoltán
Dátum:2021
ISSN:0040-6090
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
folyóiratcikk
plasma-enhanced atomic layer deposition
mechanical stability
thin film cracking
gas transport properties
mass spectrometry
numerical simulations
Megjelenés:Thin Solid Films. - 738 (2021), p. 1-13. -
További szerzők:Gyöngyösi Szilvia (1983-) (anyagmérnök, gépészmérnök) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Baradács Eszter (1974-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Barkóczy Péter Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus)
Pályázati támogatás:GINOP-2.3.2-15-2016-00041
GINOP
TKP2020-NKA-04
Egyéb
2020-4.1.-TKP2020
Egyéb
Internet cím:Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Rekordok letöltése1