Találati lista | Tudóstér

001-es BibID:	BIBFORM013102
Első szerző:	Lakatos Ákos (fizikus, környezetmérnök, létesítménymérnök)
Cím:	Investigations of diffusion kinetics in Si/Ta/Cu/W and Si/Co/Ta systems by secondary neutral mass spectrometry / A. Lakatos, G. Erdelyi, G.A. Langer, L. Daroczi, K. Vad, A. Csik, A. Dudas, D. L. Beke
Dátum:	2010
Tárgyszavak:	Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban Co and Cu interconnection technology Interfaces segregation Ta diffusion in Cu Si Diffusion in Co Centre-Gradient method Fizikai-, Számítás- és Anyagtudomány
Megjelenés:	Vacuum. - 84 : 7 (2010), p. 953-957. -
További szerzők:	Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Vad Kálmán Csik Attila (1975-) (fizikus) Dudás Adrián Beke Dezső László (1945-) (fizikus)
Pályázati támogatás:	TÁMOP-4.2.1/B-09/1/KONV-2010-0007 TÁMOP Diffúzió és szilárdtest reakciók nanoskálán
Internet cím:	DOI Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Saját polcon: