Összesen 1 találat.
#/oldal:
Részletezés:
Rendezés:

1.

001-es BibID:BIBFORM060611
Első szerző:Huszánk Róbert (vegyész kutató)
Cím:Proton beam lithography in negative tone liquid phase PDMS polymer resist / Robert Huszank, István Rajta, Csaba Cserháti
Dátum:2015
ISSN:0168-583X
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
PDMS
proton beam writing
negative resist
silicate microstructures
Megjelenés:Nuclear Instruments & Methods In Physics Research Section B-Beam Interactions With Materials And Atoms. - 348 (2015), p. 213-217. -
További szerzők:Rajta István (1970-) (fizikus) Cserháti Csaba (1963-) (fizikus)
Pályázati támogatás:K108366
OTKA
TÁMOP-4.2.2.A-11/1/KONV-2012-0036
TÁMOP
Internet cím:Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Rekordok letöltése1