Összesen 1 találat.
#/oldal:
Részletezés:
Rendezés:

1.

001-es BibID:BIBFORM094466
Első szerző:Vad Kálmán
Cím:Secondary neutral mass spectrometry - a powerful technique for quantitative elemental and depth profiling analyses of nanostructures / Kálmán Vad, Attila Csik, Gábor A. Langer
Dátum:2009
ISSN:0966-0941
Megjegyzések:A comparative description of applying ion-beam sputtering in materials research via secondary ion and neutral mass spectrometries (SIMS and SNMS) has been reported. The decrease of dimensions and increasing complexity of thin-film and multilayer structures require the application of methods that provide information down to the nanometre scale. The quantification of nanostructures and surface layers with high sensitivity is often of crucial importance in monitoring product quality. Electron spectroscopy is capable of giving information about the material structure and the chemical state of elements. The SIMS and SNMS techniques yield information about the elemental composition and the depth profile of elements. The lack of matrix effect together with the high depth resolution is the main advantage of SNMS over the other methods based on ion sputtering.
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
folyóiratcikk
Megjelenés:Spectroscopy Europe. - 21 : 4 (2009), p. 13-16. -
További szerzők:Csik Attila (1975-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus)
Internet cím:Szerző által megadott URL
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Rekordok letöltése1