Összesen 1 találat.
#/oldal:
Részletezés:
Rendezés:

1.

001-es BibID:BIBFORM118843
035-os BibID:(cikkazonosító)111260 (WoS)000819305900002 (Scopus)85132791850
Első szerző:Bodnár Eszter (fizikus)
Cím:Grain boundary diffusion of Si in polycrystalline copper film / Eszter Bodnár, Viktor Takáts, Tamás Fodor, József Hakl, Yuri Kaganovskii, Guang Yang, Xiaogang Yao,Kálmán Vad
Dátum:2022
ISSN:0042-207X
Megjegyzések:Grain boundary (GB) diffusion of Si in polycrystalline Cu film was studied in the temperature range of 403?453 K, in the C-type kinetic regime. The amorphous Si layer (80 nm) and polycrystalline Cu layer (40 nm) were successively deposited by magnetron sputtering at room temperature onto a Si (111) wafer. Appearance of Si atoms on the copper surface due to GB diffusion through the copper layer was detected by low energy ion scattering spectroscopy with high sensitivity. The depth distribution of Si in Cu grain boundaries was revealed by secondary neutral mass spectrometry. Surface morphology of Cu films was investigated by scanning tunneling microscopy. Identification of Si chemical bonds on the surface layer was made by X-ray photoelectron spectroscopy. GB diffusion coefficients were estimated by the relation used for calculation of diffusant distribution from a constant source in assumption that the diffusion path equals to the film thickness at the moment of appearing Si atoms on the Cu surface. At 453 K we estimated the surface segregation factor and detected formation of Cu?O?Si atomic bonds on the Cu film surface.
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
folyóiratcikk
Cu/Si nanolayers
Grain boundary diffusion
Low energy ion scattering
Nanoscale diffusion
Megjelenés:Vacuum. - 203 (2022), p.1-5. -
További szerzők:Takáts Viktor Fodor Tamás Hakl József Kaganovskii, Yuri S. Yang, Guang Yao, Xiaogang Vad Kálmán
Pályázati támogatás:TKP2021-NKTA-42
Egyéb
2019-2.1.7-ERANET-2021-00021
Egyéb
Internet cím:Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Rekordok letöltése1 
Corvina könyvtári katalógus v8.2.27 © 2023 Monguz kft. Minden jog fenntartva.