CCL

Összesen 26 találat.
#/oldal:
Részletezés:
Rendezés:

1.

001-es BibID:BIBFORM042136
Első szerző:Beke Dezső László (fizikus)
Cím:Kinetic pathways of diffusion and solid-state reactions in nanostructured thin films / D. L. Beke, G. A. Langer, G. Molnár, G. Erdélyi, G.L. Katona, A. Lakatos, K. Vad
Dátum:2013
ISSN:1478-6435
Tárgyszavak:Műszaki tudományok Anyagtudományok és technológiák idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Fizikai-, Számítás- és Anyagtudomány
Megjelenés:Philosophical Magazine. - 93 : 16 (2013), p. 1960-1970. -
További szerzők:Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Molnár G. Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus) Lakatos Ákos (1983-) (fizikus, környezetmérnök, létesítménymérnök) Vad Kálmán
Pályázati támogatás:TÁMOP-4.2.1/B-09/1/KONV-2010-0007
TÁMOP
DEnergia
80126
OTKA
Internet cím:Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

2.

001-es BibID:BIBFORM038726
Első szerző:Beke Dezső László (fizikus)
Cím:Diffusion on the nanometer scale / Beke Dezső László, Erdélyi Zoltán, Langer Gábor Antal, Csik Attila, Katona Gábor
Dátum:2005
ISSN:0042-207X
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:Vacuum. - 1-3 : 80 (2005), p. 87-91. -
További szerzők:Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Csik Attila (1975-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus)
Internet cím:Szerző által megadott URL
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

3.

001-es BibID:BIBFORM008841
Első szerző:Beke Dezső László (fizikus)
Cím:Nanoscale effects in diffusion / Beke, D. L., Erdelyi, Z., Szabo, I. A., Cserhati, Cs., Papp, Z., Kapta, K., Katona, G. L., Langer, G. A., Kis Varga, M.
Dátum:2003
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:Advances in Science and Technology - CIMTEC 2002: 10th International Ceramic Congress and 3rd Forum on New Materials. Florence, Olaszország, 2002.07.14-2002.07.18. / Ed. Vincenzini, P., Dondi, M. - 30-33 (2003), p. 111. -
További szerzők:Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus) Szabó István András (1956-) (fizikus) Cserháti Csaba (1963-) (fizikus) Papp Zoltán (1959-) (fizikus) Kapta Krisztián Katona Gábor (1977-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Kis-Varga Miklós
Borító:

4.

001-es BibID:BIBFORM008658
Első szerző:Beke Dezső László (fizikus)
Cím:Diffusion on the Nanoscale / Beke D. L., Erdelyi Z., Szabo I. A., Langer G. A., Katona G., Cserhati C.
Dátum:2004
ISSN:1733-3490
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:Archives of Metallurgy and Materials. - 49 : 2 (2004), p. 219-235. -
További szerzők:Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus) Szabó István András (1956-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus) Cserháti Csaba (1963-) (fizikus)
Borító:

5.

001-es BibID:BIBFORM008675
Első szerző:Beke Dezső László (fizikus)
Cím:Non-linear effects in diffusion on nanoscale / Beke D. L., Erdélyi Z., Szabó I. A., Langer, G. A., Katona G., Cserháti Cs.
Dátum:2005
ISSN:1012-0386
Megjegyzések:Diffusion on very short distances in amorphous materials, epitaxial multilayers, during dissolution of thin films or kinetics of surface/interface segregation has many challenging features even if the role of structural defects (dislocations, phase or grain/boundaries) can be neglected and "only" fundamental difficulties, related to nanoscale effects, raise. Different examples for diffusion in such materials will be given with special emphasis on the validity limit of the continuum approach especially if the diffusion coefficient depends strongly on composition (non-linearity). Even in ideal systems (like Ni/Cu) this non-linearity leads to linear shift of an originally sharp interface (instead of the parabolic behaviour) and to sharpening of an initially diffuse interface. The sharpening takes place even if the effects of stresses (built in mismatch and thermal as well as diffusional streses) are taken into account. Deviations from the parabolic law are present in phase separating systems as well, but here the interplay of the strong composition dependence and the phase separation tendency results in a more complex behaviour. These deviations are typical nanoeffects i.e. they diminish after dissolution of several hundred atomic planes.
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:Defect and Diffusion Forum. - 237-240 (2005), p. 1031-1042. -
További szerzők:Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus) Szabó István András (1956-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus) Cserháti Csaba (1963-) (fizikus)
Internet cím:DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

6.

001-es BibID:bibEBI13171
Első szerző:Beke Dezső László (fizikus)
Cím:Diffusion on nanoscale / Beke, D. L., Erdélyi, Z., Papp, Z., Kapta, K., Katona, G.L., Langer, G., Kis-Varga, M., Cserháti, Cs., Szabó, I. A.
Dátum:2002
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok előadáskivonat
Megjelenés:Proceedings of the 8th Seminar Diffusion and thermodynamics of materials, Brno, 2002. - p. 52-59
További szerzők:Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus) Papp Zoltán (1959-) (fizikus) Kapta Krisztián Katona Gábor (1977-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Kis-Varga Miklós Cserháti Csaba (1963-) (fizikus) Szabó István András (1956-) (fizikus)
Borító:

7.

001-es BibID:BIBFORM042940
Első szerző:Cserháti Csaba (fizikus)
Cím:Anomalous growth kinetics of the Ni2Si reaction layer in a-Si/Ni system / Cserháti Csaba, Erdélyi Zoltán, Katona Gábor, Csik Attila. Lakatos Ákos, Langer Gábor, Kis-Varga Miklós, Daróczi Lajos, Erdélyi Gábor, Vad Kálmán, I. Zizak, E. Dudzik, R. Feyerherm, Beke Dezső
Dátum:2009
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok előadáskivonat
Megjelenés:International Workshop "Diffusion and Solid State Reactions on Nanoscale" / ed. Csik Attila. - p. 23.
További szerzők:Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus) Csik Attila (1975-) (fizikus) Lakatos Ákos (1983-) (fizikus, környezetmérnök, létesítménymérnök) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Kis-Varga Miklós Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Vad Kálmán Zizak, I. Dudzik, E. Feyerherm, R. Beke Dezső László (1945-) (fizikus)
Internet cím:Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

8.

001-es BibID:BIBFORM008706
Első szerző:Cserháti Csaba (fizikus)
Cím:Linear growth kinetics of Nanometric silicides in Co/amorphous-Si and Co/CoSi/amorphous-Si thin films / Cserháti, C., Balogh, Z., Csik, A., Langer, G. A., Erdélyi, Z., Glodan, Gy., Katona, G. L., Beke, D. L., Zizak, I., Darowska, N., Dudzik, E., Feyerherm, R.
Dátum:2008
ISSN:0021-8979
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:Journal of Applied Physics 104 : 2 (2008), p. 024311-1-6. -
További szerzők:Balogh Zoltán (1982-) (fizikus) Csik Attila (1975-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus) Glodán Györgyi (1985-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus) Beke Dezső László (1945-) (fizikus) Zizak, I. Darowska, N. Dudzik, E. Feyerherm, R.
Internet cím:elektronikus változat
DOI
Borító:

9.

001-es BibID:BIBFORM013105
Első szerző:Csik Attila (fizikus)
Cím:Analysis of Co/Cu multilayers by SNMS reverse depth profiling / A. Csík, K. Vad, G. A. Langer, G. L. Katona, E. Tóth-Kádár, L. Péter L.
Dátum:2009
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Electrodeposition
Reverse depth profiling
Co/Cu multilayers
SNMS
Megjelenés:Vacuum. - 84 : 1 (2009), p. 141-143. -
További szerzők:Vad Kálmán Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus) Tóth-Kádár Enikő Péter László
Internet cím:DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

10.

001-es BibID:BIBFORM072293
035-os BibID:(WoS)000428823100006 (Scopus)85041487116
Első szerző:Iguchi, Yusuke
Cím:On the miscibility gap of Cu-Ni system / Yusuke Iguchi, Gábor L. Katona, Csaba Cserháti, Gábor A. Langer, Zoltán Erdélyi
Dátum:2018
ISSN:1359-6454
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
folyóiratcikk
phase diagram
miscibility gap
thin films
secondary neutral mass spectrometry
(snms)
diffusion
Megjelenés:Acta Materialia. - 148 (2018), p. 49-54. -
További szerzők:Katona Gábor (1977-) (fizikus) Cserháti Csaba (1963-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus)
Pályázati támogatás:GINOP-2.3.2-15-2016-00041
GINOP
Internet cím:Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

11.

001-es BibID:BIBFORM042934
Első szerző:Lakatos Ákos (fizikus, környezetmérnök, létesítménymérnök)
Cím:Investigations of failure mechanisms at Ta and TaO diffusion barriers by SNMS / A. Lakatos , A. Csik, G. A. Langer, G. Erdélyi, G. L. Katona, L. Daróczi, K. Vad, J. Tóth, D. L. Beke
Dátum:2008
ISSN:0231-3596
Megjegyzések:Copper is widely used interconnect mate-rial as a replacement of aluminum in semicon-ductor devices because of its high electricalconductivity and electromigration resistance.The most important life-time limiting processin devices is diffusion between semiconductorand interconnects layers. It was an early ob-servation that Cu can easily migrate to silicon,forming silicides with even at temperatures aslow as 473 K. In order to prevent mixing andsilicide formation, reliable diffusion barriers areneeded. As for barrier materials for coppermetallization, Ta and its alloys are expected tobe the best candidates due to their high melt-ing points, lack of reactivity with Cu, as wellas relatively good adhesion to SiO2.In this work we report on the thermal sta-bility and barrier performance of Ta, TaOxand TaOxTa films. Our research is focusedon the very early stage of the degradation ofthese systems. Structural and compositionalchanges in the thin films were investigated byan X-Ray Diffractometer (XRD, equipped witha Siemens-made Cu?anode x-ray tube), anX-ray Photoelectron Spectroscope (XPS) anda Transmission Electron Microscope (TEM).Secondary Neutral Mass Spectrometer (SNMS)was applied to map the depth profiles.Our investigations, based on depth profileanalysis, show, that early degradation of Tabarrier takes place by the diffusion of Ta troughthe Cu layer and simultaneously the diffusionof Si into the Ta layer. Around 773 K, Ta-silicide formation was observed. Furthermore,deterioration of the barrier layer is strongly af-fected by the coarsening of the Ta film.The failure mechanism in the TaOxbarrierseems to be a crystallization controlled process(823 K). At higher temperature (873 K) thedecomposition of the TaOxfilm also influencesthe degradation.The combined TaOx-Ta barrier proved tobe much more effective than the Ta or TaOxsingle film. The observed outstanding perfor-mance of the combined film can be explainedby the continuous oxidation of Ta film in TaOx-Ta bilayer. The reaction product of the ox-idation process, the freshly formed TaOxfilmbetween the as-deposited TaOxand Ta is prob-ably amorphous (metastable TaO). This oxidelayer in amorphous state is less permeable toSi and Cu than the layer in crystalline form,therefore it successfully prevents the degrada-tion of samples up to 1023 K
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok kutatási jelentés
Megjelenés:Atomki Annual Report. - 16 : 1 (2008), p. 50. -
További szerzők:Csik Attila (1975-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Vad Kálmán Tóth J. Beke Dezső László (1945-) (fizikus)
Internet cím:Szerző által megadott URL
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

12.

001-es BibID:BIBFORM013101
Első szerző:Lakatos Ákos (fizikus, környezetmérnök, létesítménymérnök)
Cím:Investigation of failure mechanisms at Ta and TaO diffusion barries by secondary neutral mass spectrometry / A. Lakatos, A. Csik, G. A. Langer, G. Erdelyi, G. L. Katona, L. Daroczi, K. Vad, J. Toth, D. L. Beke
Dátum:2009
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Diffusion barrier
Tantalum
Tantalum-oxide
Megjelenés:Vacuum. - 84 : 1 (2009), p. 130-133. -
További szerzők:Csik Attila (1975-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Vad Kálmán Tóth József Beke Dezső László (1945-) (fizikus)
Internet cím:DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Rekordok letöltése1 2 3 
Corvina könyvtári katalógus v8.2.27 © 2023 Monguz kft. Minden jog fenntartva.