CCL

Összesen 9 találat.
#/oldal:
Részletezés:
Rendezés:

1.

001-es BibID:BIBFORM038808
Első szerző:Csik Attila (fizikus)
Cím:Pattern formation in SiSb system / A. Csik, G. Erdélyi, G.A. Langer, L. Daróczi, D.L. Beke, J. Nyéki, Z. Erdélyi
Dátum:2005
ISSN:0042-207X
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:Vacuum 80 : 1-3 (2005), p. 168-173. -
További szerzők:Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Beke Dezső László (1945-) (fizikus) Nyéki József (fizikus) Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus)
Internet cím:Szerző által megadott URL
Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

2.

001-es BibID:BIBFORM004317
Első szerző:Csik Attila (fizikus)
Cím:Investigation of Sb diffusion in amorphous silicon / A. Csik, G. A. Langer, G. Erdélyi, D. L. Beke, Z. Erdelyi, K. Vad
Dátum:2008
Megjegyzések:Amorphous silicon materials and its alloys became extensively used in some technical applications involving large area of the microelectronic and optoelectronic devices. However, the amorphous-crystalline transition, segregation and diffusion processes still have numerous unanswered questions. In this work we study the Sb diffusion into an amorphous Si film by means of Secondary Neutral Mass Spectrometry. Amorphous Si/Si1-xSbx/Si tri-layer samples with 5at% antimony concentration were prepared by direct current magnetron sputtering onto Si substrate at room temperature. Annealing of the samples was performed at different temperatures in vacuum (P < 10(-7) mbar) and 100 bar high purity (99.999%) Ar pressure. During annealing a rather slow mixing between the Sb-alloyed and the amorphous Si layers was observed. Supposing concentration independent of diffusion, the evaluated diffusion coefficients are in the range of similar to 10(-21) m(2)s(-1) at 550 degrees C.
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:Vacuum. - 82 : 2 (2008), p. 257-260. -
További szerzők:Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Beke Dezső László (1945-) (fizikus) Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus) Vad Kálmán
Internet cím:elektronikus változat
Borító:

3.

001-es BibID:BIBFORM095945
Első szerző:Lakatos Ákos (fizikus, környezetmérnök, létesítménymérnök)
Cím:Investigations of diffusion kinetics in Si/Ta/Cu/W and Si/Co/Ta systems by secondary neutral mass spectrometry / A. Lakatos, G. Erdelyi, G. A. Langer, L. Daroczi, K. Vad, A. Csik, A. Dudas, D. L. Beke
Dátum:2010
ISSN:0042-207X
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok konferenciacikk
folyóiratcikk
Megjelenés:Vacuum. - 85 : 4 (2010), p. 493-497. -
További szerzők:Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Vad Kálmán Csik Attila (1975-) (fizikus) Dudás Adrián Beke Dezső László (1945-) (fizikus)
Internet cím:Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

4.

001-es BibID:BIBFORM029876
Első szerző:Lakatos Ákos (fizikus, környezetmérnök, létesítménymérnök)
Cím:Investigation of diffusional intermixing in Si/Co/Ta system by Secondary Neutral Mass Spectrometry / A. Lakatos, G. Erdelyi, A. Makovec, G. A. Langer, A. Csik, K. Vad, D. L. Beke
Dátum:2012
ISSN:0042-207X
Tárgyszavak:Műszaki tudományok Anyagtudományok és technológiák idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:Vacuum. - 86 : 6 (2012), p. 724-728. -
További szerzők:Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Makovec Alajos (1987-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Csik Attila (1975-) (fizikus) Vad Kálmán Beke Dezső László (1945-) (fizikus)
Pályázati támogatás:TÁMOP-4.2.1/B-09/1/KONV-2010-0007
TÁMOP
Diffúzió és szilárdtest reakciók nanoskálán
OTKA CK-80126
Internet cím:Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

5.

001-es BibID:BIBFORM013102
Első szerző:Lakatos Ákos (fizikus, környezetmérnök, létesítménymérnök)
Cím:Investigations of diffusion kinetics in Si/Ta/Cu/W and Si/Co/Ta systems by secondary neutral mass spectrometry / A. Lakatos, G. Erdelyi, G.A. Langer, L. Daroczi, K. Vad, A. Csik, A. Dudas, D. L. Beke
Dátum:2010
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Co and Cu interconnection technology
Interfaces segregation
Ta diffusion in Cu
Si Diffusion in Co
Centre-Gradient method
Fizikai-, Számítás- és Anyagtudomány
Megjelenés:Vacuum. - 84 : 7 (2010), p. 953-957. -
További szerzők:Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Vad Kálmán Csik Attila (1975-) (fizikus) Dudás Adrián Beke Dezső László (1945-) (fizikus)
Pályázati támogatás:TÁMOP-4.2.1/B-09/1/KONV-2010-0007
TÁMOP
Diffúzió és szilárdtest reakciók nanoskálán
Internet cím:DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

6.

001-es BibID:BIBFORM013101
Első szerző:Lakatos Ákos (fizikus, környezetmérnök, létesítménymérnök)
Cím:Investigation of failure mechanisms at Ta and TaO diffusion barries by secondary neutral mass spectrometry / A. Lakatos, A. Csik, G. A. Langer, G. Erdelyi, G. L. Katona, L. Daroczi, K. Vad, J. Toth, D. L. Beke
Dátum:2009
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Diffusion barrier
Tantalum
Tantalum-oxide
Megjelenés:Vacuum. - 84 : 1 (2009), p. 130-133. -
További szerzők:Csik Attila (1975-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Vad Kálmán Tóth József Beke Dezső László (1945-) (fizikus)
Internet cím:DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

7.

001-es BibID:BIBFORM048167
Első szerző:Molnár Gábor (fizikus)
Cím:Evolution of concentration profiles in Pd-Cu systems studied by SNMS technique / G. Molnár, G. Erdélyi, G. A. Langer, D. L. Beke, A. Csik, G.L. Katona, L. Daróczi, M. Kis-Varga, A. Dudás
Dátum:2013
ISSN:0042-207X
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Depth profile
SNMS
Grain boundary
Megjelenés:Vacuum. - 98 (2013), p. 70-74. -
További szerzők:Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Beke Dezső László (1945-) (fizikus) Csik Attila (1975-) (fizikus) Katona Gábor (1977-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Kis-Varga Miklós Dudás Adrián
Pályázati támogatás:TÁMOP-4.2.2.A-11/1/KONV-2012-0036
TÁMOP
CK-80126
OTKA
Internet cím:Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:

8.

001-es BibID:BIBFORM046120
Első szerző:Papp Zoltán (fizikus)
Cím:Effect of hydrostatic pressure on crystallization and decomposition in amorphous Si/SiSb/Si system / Papp Z., Csik A., Erdélyi G., Langer G., Beke D. L., Daróczi L., Simon A., Kapta K.
Dátum:2003
ISSN:0042-207X
Megjegyzések:The crystallization of amorphous SiSb mono-, Si/SiSb/Si tri- and Si/SiSb multilayers, carried out at 883 K under different hydrostatic pressures has been investigated by cross-sectional transmission electron microscopy (TEM). After annealing crystallization of the amorphous SiSb layer was observed, while the pure Si layer remained amorphous. It was observed that hydrostatic pressure and the initial Sb concentration enhance crystallization and decomposition processes. In the case of the Si/SiSb/Si trilayer films, the nanocrystalline SiSb layer underwent a spinodal-like decomposition resulting in straight stripes parallel to the surface.
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:Vacuum 71 : 1-2 (2003), p. 273-277. -
További szerzők:Csik Attila (1975-) (fizikus) Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Beke Dezső László (1945-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Simon A. Kapta Krisztián
Internet cím:Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
DOI
Borító:

9.

001-es BibID:BIBFORM036947
Első szerző:Somogyvári Zoltán
Cím:Sputtering yields for low-energy Ar+- and Ne+-ion bombardment / Z. Somogyvári, G. A. Langer, G. Erdélyi, L. Balázs
Dátum:2012
ISSN:0042-207X
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Low-energy sputtering
Plasma ion source
Fluorescent lamp
Megjelenés:Vacuum. - 86 : 12 (2012), p. 1979-1982. -
További szerzők:Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus) Erdélyi Gábor (1950-) (fizikus) Balázs László (fizikus)
Pályázati támogatás:KMOP-1.1.1-08/1-2008-0014
Egyéb
Internet cím:Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Rekordok letöltése1 
Corvina könyvtári katalógus v8.2.27 © 2023 Monguz kft. Minden jog fenntartva.