Találati lista | Tudóstér

001-es BibID:	BIBFORM039196
Első szerző:	Simon Alíz (fizikus)
Cím:	Study of interdiffusion in amorphous Si/Ge multilayers by Rutherford backscattering spectrometry / Simon, A., Csik, A., Pászti, F., Kiss, Á. Z., Beke, D. L., Daróczi, L., Erdélyi, Z., Langer, G.A.
Dátum:	2000
Megjegyzések:	Amorphous Si/Ge multilayers of 10-40 nm repeat length were prepared by DC magnetron sputtering and annealed at 683 K. Rutherford backscattering spectrometry (RBS) with increased depth resolution was applied to study the intermixing of the elements. The interdiffusion coefficient was determined by measuring the intensity of the first Ge peak in the RES spectrum as a function of annealing time. An attempt was made to observe the theoretically predicted change of dimensions of the Si/Ge layers caused by the diffusion asymmetry.
Tárgyszavak:	Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
Megjelenés:	Nuclear instruments and methods in physics research. B: Beam interactions with materials and atoms. - 161-163 (2000), p. 471-475. -
További szerzők:	Csik Attila (1975-) (fizikus) Pászti Ferenc (1954-2009) (fizikus) Kiss Árpád Zoltán (1939-) (fizikus) Beke Dezső László (1945-) (fizikus) Daróczi Lajos (1965-) (fizikus) Erdélyi Zoltán (1974-) (fizikus) Langer Gábor Antal (1950-) (fizikus)
Internet cím:	Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Saját polcon: