Találati lista | Tudóstér

001-es BibID:	BIBFORM074327
035-os BibID:	(WoS)000441872300078 (Scopus)85049471195
Első szerző:	Szilasi Szabolcs
Cím:	Selective etching of PDMS: Etching technique for application as a positive tone resist / Szilasi S. Z., Cserháti C.
Dátum:	2018
ISSN:	0169-4332
Tárgyszavak:	Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban pdms resist development etching irradiation proton beam writing(pbw)
Megjelenés:	Applied Surface Science. - 457 (2018), p. 662-669. -
További szerzők:	Cserháti Csaba (1963-) (fizikus)
Pályázati támogatás:	TÁMOP-4.2.2.A-11/1/KONV-2012-0036 TÁMOP GINOP-2.3.2-15-2016-00041 GINOP PD 121076 Egyéb
Internet cím:	Szerző által megadott URL DOI Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Saját polcon: