Összesen 1 találat.
#/oldal:
Részletezés:
Rendezés:

1.

001-es BibID:BIBFORM074327
Első szerző:Szilasi Szabolcs
Cím:Selective etching of PDMS: Etching technique for application as a positive tone resist / Szilasi S. Z., Cserháti C.
Dátum:2018
ISSN:0169-4332
Tárgyszavak:Természettudományok Fizikai tudományok idegen nyelvű folyóiratközlemény külföldi lapban
pdms
resist
development
etching
irradiation
proton beam writing(pbw)
Megjelenés:Applied Surface Science. - 457 (2018), p. 662-669. -
További szerzők:Cserháti Csaba (1963-) (fizikus)
Pályázati támogatás:TÁMOP-4.2.2.A-11/1/KONV-2012-0036
TÁMOP
GINOP-2.3.2-15-2016-00041
GINOP
PD 121076
Egyéb
Internet cím:Szerző által megadott URL
DOI
Intézményi repozitóriumban (DEA) tárolt változat
Borító:
Rekordok letöltése1